潔凈度等級 |
塵粒最大允許數(shù)/pc.m3 |
換氣次數(shù)/h |
氣流流型 |
≥0.5μm |
≥5μm |
10 000 |
350 000 |
2 000 |
15~25 |
非單向流 |
溫濕度:萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。潔凈室濕度控制在45-65%。
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲:
1、動態(tài)測試時,萬級潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。 2、靜態(tài)測試時,萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。
氣流組織
1、萬級潔凈室主要采用的送風方式:
(1)局部孔板頂棚送風 ;
(2)帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風;
(3)上側墻送風 等三種送風方式。
2、萬級潔凈室主要采用的回風方式:
(1)單側墻下部布置回風口;
(2)當采用走廊回風時,在走廊內均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回風口。
3、送風口風速:
(1)孔板孔口3~5m/s;
(2)側送風口:⑴貼附射流2~5 ;⑵非貼附射流同側墻下部回風1.5~2.5m/s, 對側墻下部回鳳1.0~1.5m/s。
4、回風口風速:
(1)潔凈室回風口不大于2m/s;
(2)走廊內回風口不大于4m/s。
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