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潔凈度等級 |
塵粒最大允許數(shù)/pc.m3 |
換氣次數(shù)/h |
氣流流型 |
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≥0.5μm |
≥5μm |
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100 000 |
3 500 000 |
20 000 |
10~15 |
非單向流 |
溫濕度：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制
1、動態(tài)測試時，萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級不應超過70分貝A。
2、靜態(tài)測試時，萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。
氣流組織
一、十萬級潔凈室主要采用的送風方式：
1、局部孔板頂棚送風 ；
2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；
3.上側(cè)墻送風 等三種送風方式。
二、主要采用的回風方式：
1、單側(cè)墻下部布置回風口；
2、當采用走廊回風時，在走廊內(nèi)均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回風口 。
三、送風口風速：
1、孔板孔口3～5；
2、側(cè)送風口：⑴貼附射流2～5 m/s ；⑵非貼附射流同側(cè)墻下部回風1.5～2.5m/s，對側(cè)墻下部回鳳1.0～1.5m/s 。
四、回風口風速：
1、潔凈室回風口不大于2m/s；
2、走廊內(nèi)回風口不大于4m/s。
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